2024-05-06
Kattehnoloogia innovatsioon-katmine Al2O3 kattekihti PVD-protsessi abil Alates 2005. aasta EMO -näitusest teatas läbimurre Al 2 O 3 kattekihi kattes, kasutades PVD -d, on Hollandi ettevõte Hauzer teinud katte jõudluse testimisel koostööd maailma peamiste tööriistatootjatega. Testitulemused kinnitavad ajakirja Hauzeris varem avaldatud katte tulemusi: PVD -protsessiga kaetud Al 2 O 3 kattel on suurepärased adhesioonid, stabiilsed keemilised omadused ja suurepärane temperatuuril temperatuuril kuni 1100 ° C Vastupidavus kraatri kulumisele ja suurele sitkusele. Protsessi kirjeldus See uus kattesüsteem kasutab katte sadestumise saavutamiseks hübriidkatte tehnikat. See tehnoloogia ühendab katodilise kaare aurustumise koos torude magnetroni pritsimisega samas protsessis. Kaarega seotud tialn-kattekiht toimib kattesüsteemis lipsukihina ja/või annab kattesüsteemile vajaliku kulumiskindluse; Al 2 O 3 kate tagab süsteemile kõrge temperatuuri stabiilsuse ja keemilise stabiilsuse. Tüüpilises hübriidkattesüsteemis paigaldati mitmed kaare- ja magnetroni torude pritsivad katoodid. Enne ladestumist kuumutatakse tooriku töötemperatuurile ja süsteemi rõhk vähendatakse baasrõhuni. Pärast seda, kui toorikule on võimalik argooni plasma puhastamine või metalliioonide söövitus töötleda, viiakse läbi plasmakaare sadestuskate ja Al 2 O 3 on pritsitud kattele PVD-meetodi abil metallist sihtmärgi